Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik (IWS)

Das Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik betreibt mit ca. 150 Mitarbeitern anwendungsorientierte Forschung und Entwicklung auf den Gebieten der Laser- und Oberflächentechnik. Seit 1995 wird am IWS intensiv die Technologie- und Methodenentwicklung zur in-situ-Charakterisierung von Gasatmosphären industrieller Prozesse verfolgt. Im Mittelpunkt stehen dabei die Aufklärung und Optimierung von Schichtabscheidungsprozessen mittels Chemical Vapour Deposition (CVD) sowie die Spurengasanalytik bis in den ppb-Bereich. Dazu werden optische Messtechniken wie Diodenlaser-Spektroskopie oder FTIR-Spektroskopie im NIR und MIR-Bereich eingesetzt.